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薄形電空レギュレータ MEVT

半導体・精密分野の各種押圧コントロール・微速シリンダ制御に最適。高精度・高応答
【圧力制御範囲】100kPa・0.5MPa

パレクト電空レギュレータ 2100V

半導体圧力センサと電子制御回路によるフィードバック制御を採用。高精度・高応答。豊富な入力信号
【制御圧力範囲】-10.1~-91.2kPa

クリーンレギュレータ 2619

クリーンルームで使用可能な小型レギュレータ。禁油仕様
【接続口径】Rc1/8・1/4

クリーンレギュレータ RC2000

クリーンルームで使用可能。禁油仕様・コンパクトで大流量・リバース機構付
【接続口径】Rc1/4~3/8

クリーン排気フィルタ FAC

クリーンルーム内での直接排気を実現
高い二次側清浄度
【接続口径】Φ4~10、R1/8~R1/2、Rc3/8~1/2

フィルタ・レギュレータ W※000

ダスト除去用5μmとタール除去用0.3μmのエレメントをシリーズ化。

リバースフィルタ・レギュレータ W※100

逆流機能内蔵、ダスト除去用5μmとエレメントタール除去用0.3μmのエレメントをシリーズ化。

エアフィルタ F※000

ダスト除去用5μmエレメント、タール除去用。0.3μmのエレメントをシリーズ化

オイルミストフィルタ M※000

計測・計装等、油を嫌う回路に最適

高性能オイルミストフィルタMX※000

二次側油分濃度0.001mg/m3
光学式位置決め装置、レーザー加工機等の光学装置に最適。

レギュレータ R※000

圧力計埋込み形でコンパクト。

リバースレギュレータ R※100

逆流機能内蔵、二次側圧力を一次側へ。

付属機器

FRL取付け用のアタッチメント

インライン形クリーンフィルタ FCS

クリーンルーム内での使用を目的としたインラインフィルタ

精密レギュレータ RP※000

正確かつ安定した圧力が得られる精密タイプレギュレータ

圧力計 G※9D

供給圧力を確認可能にする圧力計

差圧計 GA400-8

エアフィルタの寿命管理に。
差圧測定範囲:0~0.2MPa±2.5%F.S.